夾持PA-夾持晶圓預定位模塊

1、CCD視覺定位，高(gao)精(jīng)度

2、支持指令操作(zuò)

3、支持232串口通(tong)訊

4、配(pei)備(bei)獨立係(xi)統支持更新(xin)

5、支持加(jia)裝(zhuang)ST-OCR100係(xi)列Wafer上下讀碼模塊

6、可(kě)定位不透/半透/貼膜玻璃製(zhi)品(pin)咊(he)化郃(he)物(wù)製(zhi)品(pin)

7、兼容SEMI标準Flat/notch晶圓

8、支持對Taiko片/上下表面不可(kě)接觸的(de)晶圓定位

9、夾爪帶夾持力(li)設(shè)定及(ji)力(li)反饋，防止夾傷晶圓