PA-晶圓預定位模塊

1、CCD視覺定位，高(gao)精(jīng)度

2、支持指令操作(zuò)

3、支持232串口通(tong)訊

4、配(pei)備(bei)獨立係(xi)統支持更新(xin)

5、支持加(jia)裝(zhuang)ST-OCR100係(xi)列Wafer上下讀碼模塊

6、設(shè)備(bei)兼容4/5/6/8/12不同規格晶圓中(zhong)心咊(he)Mark點定位

7、可(kě)定位不透/半透/全透/貼膜玻璃製(zhi)品(pin)咊(he)化郃(he)物(wù)製(zhi)品(pin)

8、兼容SEMI标準Flat/notch晶圓